國際首次，我國成功研制出這一芯片

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◎   鄧艾玲 科技日報實習記者 劉俠

4 月 18 日，記者從電子科技大學信息與量子實驗室獲悉，該實驗室研究團隊與清華大學、中國科學院上海微系統與信息技術研究所合作，在國際上首次研制出氮化镓量子光源芯片。這是電子科技大學 " 銀杏一号 " 城網域量子互聯網研究平台取得的又一項重要進展，相關成果近日發表在《物理評論快報》上。

據了解，量子光源芯片是量子互聯網的核心器件，可以看作點亮 " 量子房間 " 的 " 量子燈泡 "，可讓互聯網用户擁有進行量子信息互動的能力。

研究團隊通過迭代電子束曝光和幹法刻蝕工藝，攻克了高質量氮化镓晶體薄膜生長、波導側壁與表面散射損耗等技術難題，在國際上首次将氮化镓材料運用于量子光源芯片。

目前，量子光源芯片多使用氮化硅等材料進行研制，與之相比，氮化镓量子光源芯片在輸出波長範圍等關鍵指标上取得突破，輸出波長範圍從 25.6 納米增加到 100 納米，并可朝着單片集成發展。