今天小編分享的科技經驗：測量精度小于1納米，性能進入全球一梯隊，優可測旗艦白光幹涉儀發布，歡迎閲讀。
在上海慕尼黑光博會上完成了首批内部客户體驗會後，優可測全新旗艦白光幹涉儀 AM8000 于近日正式發布。這款白光幹涉儀可對各種精密零件及材料表面進行亞納米級别的測量，獲取表面 3D 形貌，測量精度小于 1nm。
在應用場景、智能化操作、測量穩定性三大維度上，AM8000 均能全面對标世界頂級品牌的旗艦產品。這意味着中國品牌在高精度白光幹涉測量領網域已實現了核心技術突破，并能助推中國智能制造產業繼續突破核心技術、增強高端供給、支撐制造強國、質量強國建設。
适配更多鏡頭與測量樣品
滿足半導體、精密光學等行業需求
目前市面上的國產白光幹涉儀，匹配的鏡頭均以短焦距、小視野為主。優可測白光幹涉儀 AM8000，支持适配更多倍率的鏡頭，如 1X 的長焦距、大視野鏡頭，單視野達到了 18×11mm，能很好解決大範圍測量的需求；如長焦距的 5X 和 10X 鏡頭，焦距分别可以達到 40mm 和 22mm，能實現對噴油嘴這種大孔深樣品的測量；适配鏡頭的擴大，讓 AM8000 能滿足更多特殊零件的測量需求。此外，AM8000 還支持鏡頭行程自适應，确保裝配上不同鏡頭後，不會因誤操作而撞上測量物件。
AM8000 搭載了 4 自由度直驅電控平台，平台的 XY 行程最大可達 300mm，負載能力提升 2.5 倍，移動拼接速度提升 30%，定位精度提升 3 倍。對白光幹涉儀而言，要滿足更多規格樣品，就需要提升其平台行程，但行程提升會帶來不确定性，從而影響精度。AM8000 的電控平台在實現大行程同時，其運動直線度仍可達到 ±1um，角擺 ≤5 角秒。此外，AM8000 還可加裝旋轉平台，滿足晶圓的 Mapping 測量需求。
此外，AM8000 還增加了循環測量、批量導出測量報告、對焦曲線、提取評比 ROI 等功能，并擁有超過 300+ 的測量工具，如面粗糙度、輪廓分析、紋理方向、粒子分析、紋理均質性等，更好地滿足各行業的應用需求。
一鍵對焦 + 調平
讓操作效率提升 7 倍
在白光幹涉儀操作中，最繁瑣也最耗時的環節就是手動對焦與調平。這往往要依賴工程師的經驗，也提升了白光幹涉儀的操作門檻。AM8000 推出了 "PreciTrack 條紋自動對焦 " 功能，工程師只要擺放好物體，點擊一鍵對焦，即可在 5 秒内完成對焦 + 尋找幹涉條紋，效率上是手動對焦操作的 7 倍。在調平上，AM8000 更推出了行業首創的 "EquiDrive 自動調平 " 功能，它能在 5 秒内完成調平，将測量範圍内的幹涉條紋數量降至 1 或 0，效率是手動調平操作的 8 倍。
在大尺寸零件測量上，AM8000 有擁有豐富的拼接方式、如方環形、圓形、圓環形等。工程師直接輸入數值，可自動生成需要的拼接區網域。在樣品批量測量時，AM8000 支持多點位的編程測量，基于樣品位置，自動跑位進行測量，無需每次手動放置樣品。
AM8000 還增加了控制器模塊，将平台移動、光源調節、調焦等功能集成到控制器上，工程師一鍵即可完成常規操作，可提高 50% 的工作效率。
内置氣浮 + 低重心機構
隔振穩定性提升 2.7 倍
白光幹涉儀是精密測量儀器，外界震動，或者人員對設備的誤觸碰，都容易影響測量結果。因此很多部門會為白光幹涉儀配置穩定環境。這就大大提高了設備的應用門檻。如何降低環境影響，已成為全球領先品牌改進設備性能的重要方向。
為了解決這個問題，AM8000 采用了内置式氣浮緩衝機構，将整個隔振機構和工作台包裹住，同時通過獨創的低重心設計，大幅降低了環境振動對設備的影響。經過測試，AM8000 的隔振穩定性提升 2.7 倍，RMS 重復性可達 0.0041nm。
此外，AM8000 配置了 5000um 大量程壓電陶瓷，500 萬像素高速相機，配合行業首創 SST + GAT 算法，支持 PSI ( 相移掃描 ) + VSI ( 垂直掃描 ) ，可瞬間完成亞納米級數據采集。
目前，AM8000 可應用于新能源、汽車、3C 電子、半導體、精密光學、微納加工、醫療器械、摩擦磨損等領網域，如銅箔 / 鋁箔粗糙度測量、鈣钛礦塗層厚度測量、光伏栅線高度測量、齒輪表面粗糙度測量、犁型槽截面積測量、精密抛光表面粗糙度測量、先進封裝形貌分析、陶瓷基板台階高 / 平面度測量、超光滑粗糙度測量、微流控芯片形貌、植入體形貌 / 粗糙度、人工晶狀體形貌 / 粗糙度等。
在應用場景、智能化操作，測量穩定性三大維度上實現了大幅提升後，AM8000 已能全面對标全球頂級品牌的旗艦產品。這也意味着中國品牌在高精度白光幹涉測量領網域已實現了核心技術突破，助力中國智能制造產業打破國外技術卡脖子，增強高端供給、支撐制造強國、質量強國建設。
