今天小編分享的科技經驗：台積電今明兩年将接收超60台EUV光刻機，相關投資超四千億新台币，歡迎閲讀。
IT 之家 7 月 1 日消息，據台媒《工商時報》報道，台積電将在 2024~2025 年接收超 60 台 EUV 光刻機，而其今明兩年在 EUV 光刻機上的投入将超 4000 億新台币（IT 之家備注：當前約 896.61 億元人民币）。
報道表示，ASML 的 EUV 光刻機目前供應緊張，從下單到交付的整體周期已達 16~20 個月。
台積電今明兩年将分别下達約 30 和 35 台的 EUV 光刻機訂單，這些訂單中的大部分将從 2026 年開始交付。
台媒援引供應鏈消息指出，ASML 對 2025 年產能的規劃是 20 台 High-NA EUV 光刻機、90 台 EUV 光刻機和 600 台 DUV 光刻機。
▲ ASML 目前最先進的 0.33NA EUV 光刻機 NXE:3800E
根據台積電官方路線圖，其目前已規劃的最先進工藝 16A 将于 2026 年量產，仍采用傳統 0.33NA EUV 光刻機。換句話説，台積電暫未考慮在量產制程中導入 High-NA。
雖然 ASML 方面已确認将在 2024 年内向台積電交付 High-NA EUV 光刻機，但這一機台僅用于制程開發目的。
台媒也表示，台積電暫無在 2025~2026 年引入量產用 High-NA EUV 光刻機的規劃。
