英特爾宣布世界首台商用 High NA EUV 光刻機完成組裝

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IT 之家 4 月 19 日消息，英特爾今日宣布其已在位于美國俄勒岡州希爾斯伯勒的 Fab D1X 研發晶圓廠完成世界首台商用 High NA（0.55NA） EUV 光刻機的組裝工作，目前已進入光學系統校準階段。

▲ 圖源英特爾新聞稿

這台光刻機型号 TWINSCAN EXE:5000，為 ASML 的首代 High NA EUV 光刻機，價值約 3.5 億美元（IT 之家備注：當前約 25.38 億元人民币）。

就在不久前 ASML 宣布其在荷蘭埃因霍温總部的另一台 High NA EUV 光刻機成功繪制了 10nm 線寬的密集線圖案。

英特爾表示 High-NA EUV 光刻機可擁有 1.7 倍于目前 0.33NA EUV 光刻機的一維密度，這意味着在二維尺度上可實現 190% 的密度提升。

采用 High-NA EUV 光刻機，可以更精細的尺度制造生產半導體，繼續推動摩爾定律。

英特爾計劃從 2025 年的 18A 新技術驗證節點開始，在先進芯片開發和制造中同時使用 0.55NA 和 0.33NA 的 EUV 光刻機。

此外英特爾還計劃購買下一代 TWINSCAN EXE:5200B 光刻機，新機型晶圓吞吐量超過每小時 200 片。

不過根據 IT 之家此前報道，ASML 在 2021 年時對後 EXE:5000 產品的稱呼是 EXE:5200。暫不清楚 EXE:5200B 是 EXE:5200 的改名還是改進型号。