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半导体行业观察:这个就有 InFO(整合扇出型封装),从 iPhone 7 就开始了,现在继续在用,iPhone 8、iPhone X,以后别的手机也会开始用这个技术
2017 年 11 月 21 日,时任台积电董事长的张忠谋在台下默默鼓掌,这一天的主角,不是声名赫赫的他,而是此前默默无名的余振华。
接过奖项的他,指了指着一旁记者手中的 iPhone 说:" 这个就有 InFO(整合扇出型封装),从 iPhone 7 就开始了,现在继续在用,iPhone 8、iPhone X,以后别的手机也会开始用这个技术。"
这里提到的 InFO,即先进封装中的一种,正是它让台积电轻松吃下 iPhone 7 中 A10 处理器的全部订单,把 2015 年还在代工 A9 处理器的三星挤出局,一举奠定了台积电的江湖地位。
依靠着 InFO,苹果 A10 处理器在沿用 16nm FinFET 工艺的情况下,依旧实现了不俗的性能提升,相较于隔壁用上三星 10nm 工艺的骁龙 835 和 Exynos 8890 也未逊色多少。
而先进封装这把利器,此时借由苹果之手,揭开了它神秘的面纱,向着世人款款而来。
封装,摸着石头过河
苹果与先进封装的故事,可能还得从 2007 年讲起。
下面这张图是诺基亚 N95 ——一款发售于 2007 年 3 月的智能手机的主機板,它不仅搭载了强悍的双处理器,还有密密麻麻的模拟芯片,其复杂程度,并不亚于当时任意一款高端筆記型電腦。
同时 N95 还有三块不同的存储芯片,散布在两颗处理器的周围,光是想要弄清这款手机的硬體架构,就需要花费不少力气,维修起来也是件相当麻烦的事情。
而另外一张主機板图同样来自于 2007 年发售的手机——初代 iPhone,仔细观察后,我们会发现,整个主機板的集成度相较于 N95 更高,各类芯片密密麻麻地排布在一起,彼此间的空隙大大缩短。
更重要的是,我们在这个主機板上,只能找到处理器与 NAND,在所有手机中都能看到的 DRAM 却没了踪影,难道说苹果有什么黑科技,能把 DRAM 丢到副板上?
答案藏在苹果 Logo 芯片的下方,这颗名为 APL0098 的 SoC,实际上是三星 S5L8900 的换皮版,它的下方,封装堆叠了两块三星出品的 512 MB SDRAM,是的没错,苹果在初代 iPhone 上就采用了层叠式封装 ( PoP ) ,将 DRAM 和 SoC 集成在了一起。
而这项技术,自然也是出自三星之手,台积电当时也不得不甘拜下风,从初代 iPhone 到 iPhone 5s,所有苹果处理器与封装均由三星单独完成,甚至于苹果 A4 自研芯片的研发,也在相当程度上受到了三星的影响。
有中国台湾半导体人士评价道,三星是举世唯一可量产存储与处理器,也有自家封测厂的半导体厂,由它承制,整个 A7 处理器可在「一个屋顶」下完成,在成本、整合度拥有巨大优势,台积电确实难以在短时间内追赶上。
苹果青睐 PoP 封装也不是没有理由的,与传统封装相比,PoP 封装占用较少的基板,而较小的尺寸与较少的重量反过来又减小了电路板面积,而与 DRAM 较短的互联能实现更快的数据传输速率,且在制造过程的每个环节都能节约成本。
iPhone 5s 上的先进封装不过是苹果小试牛刀,苹果真正用好这一利器,还要等到 2014 年的 Apple Watch。
在这一年 9 月的发布会上,苹果的 CEO 库克在时隔多年后又一次准备了 One More Thing,只不过这次主角是智能穿戴,继 iPad 之后,苹果又推出了 Apple Watch 这一全新品类。
发布会上,库克也是大吹特吹了一通,虽然 Apple Watch 并不是市面上最早的智能手表,但库克仍然把它视作一款革命性的产品," 它不是缩小版的 iPhone,而是一种 ' 直接通过手腕进行通信的创新方式,它的功能远不止这些。" 库克在舞台上信誓旦旦。
Apple Watch 的诸多先进功能现在看来已经稀疏平常,大部分千元级别的智能手表都可以轻松做到,但它的核心—— S1 芯片却是其他厂商从未追赶上的。
当拆解机构掀开 Apple Watch 的螢幕时,映入眼帘的只有一块电池和一颗线性振动马达,驱动手表的处理器却没了踪影,直到掀开电池,印着苹果 Logo 的封装芯片才得以揭晓。
这块印着 S1 的芯片被牢牢压在了电池和马达下面,而它采用的封装工艺,正是我们今天津津乐道的 SiP ( System In a Package 系统级封装 ) 。
拆解显示,SiP 封装真正体现了将整个系统进行封装的精髓,在一块 26.15 mm x 28.50 mm 的主機板上,集成了多达 14 颗左右的核心芯片产品,以及上百个电阻电容等元器件,所有元器件都有各自独立的封装,并紧密有序地排列在主機板上,而除了惯性组合传感器外,其他都元器件都封装在一起,整个封装的厚度仅为 1.16mm。
26.15 mm x 28.50 mm×1.16mm,传统芯片的大小,构成了一个系统,其复杂程度,甚至超越了当年与它一同发售的 iPhone 6 主機板。
但先进封装的背后,不再是熟悉的三星操刀,苹果把目光抛向了中国台湾,晶圆代工固然是这里远近闻名的优势,台积电就肩负着代工 A8 芯片的重任,但封装测试作为半导体中极为重要的一环,中国台湾也并不比其他国家地区逊色多少。
那 S1 芯片,背后又是谁在出力呢?据媒体报道,S1 的 SiP 基板出自景硕与南电之手,而 SiP 封装及模组代工则由封测大厂日月光独占,三大供应商因苹果走到了一起,一同为初代 Apple Watch 小巧身躯里注入了强大的动力。
PoP 加 SiP,苹果摸着石头过河,在先进封装上踩出了一条属于自己的路。
强强联合,改变世界
眼看着自初代 iPhone 以来,先进封装越来越吃香,苹果也开始琢磨起了更高级的封装形式,光是三星的 PoP 已经难以满足苹果的胃口,更薄的封装已经势在必行。
而代工过 A8 和部分 A9 芯片的台积电,拿出了一项苹果无法拒绝的技术—— InFO。
事实上,台积电从 2009 年就已开始布局封装,其中的带头人是蒋尚义,而负责开发的,就是前文中提到的余振华,他一手缔造了今天在 AI 中正火热的 CoWoS。
当时张忠谋对先进封装这个方向极为看好,还专门拨了 400 个研发工程师给余振华,他也不负众望,在三年后顺利开发出 CoWoS 技术,即第一代 CoWoS 技术。
这项 2011 年发布的技术,首先是被赛灵思的高端 FPGA 采用。其中 Si 中介层的最大尺寸为 775mm2 ( 25 mm x 31 mm ) ,接近一个掩模版的曝光尺寸(26mm x 33mm)(在 ArF 浸入式光刻机的情况下),而 FPGA 芯片制造技术是 28 纳米 CMOS 工艺,采用该技术的赛灵思高端 FPGA"7V2000T" 在 "CoWoS_S" 中配备了四个 FPGA 逻辑芯片。
在 2014 年发布的第二代 "CoWoS_S" 中,硅中介层扩大到 1150mm2,接近 1287mm2,这是 1.5 分划板的曝光面积,在 2015 年被赛灵思高端 FPGA"XCVU440" 采用,其采用 20 纳米 CMOS 工艺,配备了三块 FPGA 逻辑芯片。
接连两代的 CoWoS,都没有翻起太大的风浪,只有赛灵思成为了台积电这项新技术的顾客,这也让开发技术的余振华产生了动摇,"(好像)某人夸下海口,要了大量资源,做了个没什么用的东西," 他在后续的采访中回忆道。
是 CoWoS 技术还不够好吗?当然不是,理论上利用这项技术的处理器,可以缩减多达 70% 厚度,对于寸土寸金的半导体来说,这个诱惑不可谓不大。
但打消他们念头的,是 CoWoS 的成本,有台积电的客户在接洽时表示,这类技术要被接受,价格不能超过每平方毫米 1 美分,但 CoWoS 的价格却达到了 5 倍以上,即使是大公司,难免也会感到肉疼。
为了改变叫好不叫座的局面,台积电的高层决定开发一个每平方毫米 1 美分的先进封装技术,性能可以比 CoWoS 略差一些,但是一定要争取到大客户。
这项技术就是首度用在 iPhone 7 与 7Plus 的 InFO 封装,最终成为台积电吃下苹果 A10 芯片全部订单的关键之所在。
InFO 全称为 Integrated Fan-Out,意为集成式扇出型封装,重点为集成和扇出型封装。提到 InFO 封装,首先要先说一下 FOWLP(Fan-Out Wafer Level package)封装。传统的 WLP 在切割前进行封装,虽然减小了封装尺寸,但是使 I/O 数量受到了限制,为了满足 I/O 数量增多的需求,FOWLP 应运而生。FOWLP 使用扇出型技术,通过 RDL 层,将 Die 表面的触点扩展到 Die 的投影面积之外,增加了凸点布置的灵活性以及增多了引脚数量。通常情况下的 FOWLP 封装的特点为尺寸较小,无基板,塑封封装。InFO 封装在某些方面与 FOWLP 具有相同的特点,而同时又在其上进行了发展。
一般而言,Info 封装包含三种类型:InFO_oS、InFO_PoP 以及 InFO_LSI。而台积电给苹果提供的,就是 Info_PoP 封装,它的全称为 Integrated Fan-out Package on Package,是 FOWLP 与 PoP 封装的结合体,它将不同类型的芯片在垂直方向上堆叠在一起,下层为 FOWLP 封装的芯片,上层为 DRAM 等被动芯片,封装之间通过 TIV(Through Info Via)进行电气互联。
与三星提供的 PoP 封装相比,InFO_PoP 不需要硅中介层,允许多个倒装芯片组件被放置在封装基板上,通过封装衬底互连到彼此,不仅缩小了芯片面积与厚度,在价格上也更具竞争力,
据一位曾参与苹果订单的封测厂高层主管回忆,三星算是大意失荆州,当台积电提出 InFO 时,封装经验更丰富的三星,却以为只要将既有的 PoP 封装稍微改良,就可达到苹果要求的厚度水准,而事实显然并非如此。
而 InFO 技术几经改良,不仅在 iPhone 上沿用至今,还让 Mac 产品也受惠于此。
当苹果在 2021 年推出 20 核的 M1 Ultra 处理器时,它的 UltraFusion 2.5 TB/s 处理器间互连让世界为之瞩目,而如何做到这一点,也成为了所有半导体行业人士关心的问题。
它的背后,就是 Info_PoP 的迭代版本—— Info_LSI 技术。
Info_LSI 封装全称 Integrated Fan-out_Local Silicon Interconnect,此种封装使用硅桥以
及 RDL 层代替整块硅,达到了性能与成本的平衡,根据 TechInsights 的解析,硅桥将两块 M1 Max 处理器连接在一起,实现了低电阻、低延迟和高带宽,而 M1 Ultra 也是 TechInsights 记录的第一个使用 InFO-LSI 技术的设备示例。
先进封装不仅把两颗处理器牢牢地粘合在一起,也在苹果和台积电之间搭建起了一座硅桥,两个巨头携手,掀起了一场关于封装的狂风骤雨。
下一块先进封装芯片
对于苹果来说,满足于现有封装技术似乎是完全不可能的事情,即使是在工艺制程上遥遥领先的台积电,也在 5nm 节点上停留了许久,直到今年才完成了 3nm 节点的大规模量产,至于更远的 GAA 和 2nm,短期内肯定难以快速实现。
而苹果作为电子消费产品起家的一家公司,对于性能也有种超乎一般公司的执着,每年一迭代手机里的处理器,性能也必须跟着迭代,而新生的自研芯片版 Mac,更是需要在英特尔和 AMD 的压力下,保持住自己领先的性能功耗,而摩尔定律逐渐失效的今天,台积电的先进封装就成为了苹果压箱底的法宝。
据台媒报道,苹果正小量试产最新的 3D 小芯片堆叠技术 SoIC(单线集成电路小轮廓封装),目前规划采用 SoIC 搭配 InFO 的封装方案,预计用于 MacBook,最快 2025~2026 年推出产品。
SoIC 又是什么新技术呢?根据台积电在第二十四届年度技术研讨会中的说明,SoIC 是一种创新的多芯片堆叠技术,是一种晶圆对晶圆(Wafer-on-wafer)的键合(Bonding)技术,这是一种 3D IC 制程技术,可以让台积电具备直接为客户生产 3D IC 的能力。
最让人啧啧称奇的是,SoIC 技术是采用硅穿孔(TSV)技术,可以达到无凸起的键合结构,可以把很多不同性质的临近芯片整合在一起,当中最关键、最神秘之处,就在于接合的材料,号称是价值高达十亿美元的机密材料,因此能直接透过微小的孔隙沟通多层的芯片,达成在相同的体积增加多倍以上的性能,简言之,可以持续维持摩尔定律的优势。
台积电赴日本参加 VLSI 技术及电路研讨会发表技术论文时,也针对 SoIC 技术发表过论文,表示 SoIC 解决方案将不同尺寸、制程技术及材料的裸晶堆叠在一起。相较于传统使用微凸块的三维积体电路解决方案,台积电的 SoIC 的凸块密度与速度高出数倍,同时大幅减少功耗。此外,SoIC 能够利用台积电的 InFO 或 CoWoS 的后端先进封装至技术来整合其他芯片,打造强大的 3D×3D 系统级解决方案。
有媒体认为,从台积电最初提出的 CoWoS 技术,到独占苹果代工的 InFO 技术,下一个让它笑傲于封装行业的,就是 SoIC 技术。
目前,台积电的 SoIC 技术已经在竹南六厂(AP6)进入量产,月产能近 2000 片,预期未来几年将持续翻倍增长,AMD 是其首发客户,最新的 MI300 采用了 SoIC 搭配 CoWoS 封装的方案。
基于成本、设计等因素考虑,苹果大概率会采用 SoIC 搭配 InFO 的解决方案,或许在 M3 Ultra 上就能一睹这项技术的实力。
PoP 技术带领 iPhone 杀入智能手机市场,InFO 让苹果自研移动芯片走上崛起之路,而 SoIC,会让苹果在桌面端芯片上掀起一场新的封装革命吗?