今天小编分享的科技经验:史上最大光刻机拆箱视频发布,安装完成还需6个月,欢迎阅读。
芯东西 3 月 8 日报道,最近英特尔芯片制造业务一片向好,状态可谓是春风得意、喜上眉梢,一大原因是,价值近 4 亿美元的全球第一台 High-NA EUV 光刻机已经进入了英特尔的工厂。
为此,英特尔本周分享出史上最大拆箱视频,兴奋地向全世界分享这一重大喜讯。
>这并不是英特尔第一次高调 " 炫富 " 了。今年 1 月首台 High-NA EUV 光刻机的主要组件抵达时,英特尔就晒照并宣告:" 这是新年最好的开端。"
为啥这么激动?简而言之,High-NA EUV 光刻机对于生产 3nm 及更先进制程工艺的芯片举足轻重,能够大幅降低制造先进制程芯片的复杂性,并提高产量、降低成本。这种先进设备唯独荷兰光刻机霸主 ASML 能造出来,而且产量极低。
台积电、三星、英特尔、SK 海力士等世界头部逻辑芯片和存储芯片制造商,为了率先并更多拿到 ASML 最先进的光刻机争得不可开交。
特别是正在大刀阔斧开拓代工业务的英特尔,目标在 2025 年通过 Intel 18A(相当于 1.8nm)制程节点重获制程领先权,并成为全球第二大芯片代工商(也就是赶超三星),而率先拿到最先进的芯片光刻技术对其吸引更多客源相当有利。
英特尔对这台机器翘盼已久,早在 2018 年就下单订购了 ASML 试点的 TWINSCAN EXE:5000 光刻机。所以就出现了文章开头提到的,英特尔隆重地接连分享 High-NA 光刻机 TWINSCAN EXE:5200 抵达工厂这个里程碑事件的物料,就差敲锣打鼓放鞭炮奔走相告了。
TWINSCAN EXE:5200 具有 0.55 高数值孔径和每小时超过 200 片晶圆的生产率,体型庞大,有 3 层楼那么高,运输总共需要 13 个卡车容量的貨櫃和 250 个板条箱,重量约 33 万磅。
视频显示,一架货机将貨櫃从荷兰运输到美国俄勒冈州波特兰,然后由一辆运货卡车运送了该设备的关键部件。
卡车将机器一路运送到英特尔工厂。
在工厂等候已久的工程师们马不停蹄立即开装。
这台机器完全安装还需 250 名 ASML 和英特尔工程师大约耗费 6 个月。安装完毕后,工程师们要对机器进行校准,预计又需要几周甚至几个月的时间。
High-NA EUV 光刻机能以 8nm 分辨率来输出光刻结果,与当前单次曝光分辨率仅到 13nm 的 EUV 光刻机相比,这显然是个巨大的进步。
按计划,英特尔会先通过其 Intel 18A 测试 High-NA EUV 光刻机的使用,将在 2025 年部署商用级 Twinscan EXE:5200 设备用于大批量生产 Intel 14A(相当于 1.4nm)工艺技术。
ASML 此前宣布其下一代 High-NA EUV 光刻机的价格将是其当前 Low-NA EUV 光刻机的两倍以上,即大约 3.8 亿美元。不过确切的价格取决于该设备的实际配置,英特尔 CEO 帕特 · 基辛格近期透露该机器的成本为 "4 亿左右 "。
相比之下,现有 Low-NA Twinscan NXE EUV 系统的售价约为 1.8 亿美元。
ASML 曾在 2022 年宣布,将在 2027~2028 年期间每年生产 20 台 High-NA EUV 光刻设备。该公司还在今年早些时候透露,其 High-NA EUV 光刻机累计的订单台数已达到两位数。