今天小編分享的科技經驗:史上最大光刻機拆箱視頻發布,安裝完成還需6個月,歡迎閲讀。
芯東西 3 月 8 日報道,最近英特爾芯片制造業務一片向好,狀态可謂是春風得意、喜上眉梢,一大原因是,價值近 4 億美元的全球第一台 High-NA EUV 光刻機已經進入了英特爾的工廠。
為此,英特爾本周分享出史上最大拆箱視頻,興奮地向全世界分享這一重大喜訊。
>這并不是英特爾第一次高調 " 炫富 " 了。今年 1 月首台 High-NA EUV 光刻機的主要組件抵達時,英特爾就曬照并宣告:" 這是新年最好的開端。"
為啥這麼激動?簡而言之,High-NA EUV 光刻機對于生產 3nm 及更先進制程工藝的芯片舉足輕重,能夠大幅降低制造先進制程芯片的復雜性,并提高產量、降低成本。這種先進設備唯獨荷蘭光刻機霸主 ASML 能造出來,而且產量極低。
台積電、三星、英特爾、SK 海力士等世界頭部邏輯芯片和存儲芯片制造商,為了率先并更多拿到 ASML 最先進的光刻機争得不可開交。
特别是正在大刀闊斧開拓代工業務的英特爾,目标在 2025 年通過 Intel 18A(相當于 1.8nm)制程節點重獲制程領先權,并成為全球第二大芯片代工商(也就是趕超三星),而率先拿到最先進的芯片光刻技術對其吸引更多客源相當有利。
英特爾對這台機器翹盼已久,早在 2018 年就下單訂購了 ASML 試點的 TWINSCAN EXE:5000 光刻機。所以就出現了文章開頭提到的,英特爾隆重地接連分享 High-NA 光刻機 TWINSCAN EXE:5200 抵達工廠這個裏程碑事件的物料,就差敲鑼打鼓放鞭炮奔走相告了。
TWINSCAN EXE:5200 具有 0.55 高數值孔徑和每小時超過 200 片晶圓的生產率,體型龐大,有 3 層樓那麼高,運輸總共需要 13 個卡車容量的貨櫃和 250 個板條箱,重量約 33 萬磅。
視頻顯示,一架貨機将貨櫃從荷蘭運輸到美國俄勒岡州波特蘭,然後由一輛運貨卡車運送了該設備的關鍵部件。
卡車将機器一路運送到英特爾工廠。
在工廠等候已久的工程師們馬不停蹄立即開裝。
這台機器完全安裝還需 250 名 ASML 和英特爾工程師大約耗費 6 個月。安裝完畢後,工程師們要對機器進行校準,預計又需要幾周甚至幾個月的時間。
High-NA EUV 光刻機能以 8nm 分辨率來輸出光刻結果,與當前單次曝光分辨率僅到 13nm 的 EUV 光刻機相比,這顯然是個巨大的進步。
按計劃,英特爾會先通過其 Intel 18A 測試 High-NA EUV 光刻機的使用,将在 2025 年部署商用級 Twinscan EXE:5200 設備用于大批量生產 Intel 14A(相當于 1.4nm)工藝技術。
ASML 此前宣布其下一代 High-NA EUV 光刻機的價格将是其當前 Low-NA EUV 光刻機的兩倍以上,即大約 3.8 億美元。不過确切的價格取決于該設備的實際配置,英特爾 CEO 帕特 · 基辛格近期透露該機器的成本為 "4 億左右 "。
相比之下,現有 Low-NA Twinscan NXE EUV 系統的售價約為 1.8 億美元。
ASML 曾在 2022 年宣布,将在 2027~2028 年期間每年生產 20 台 High-NA EUV 光刻設備。該公司還在今年早些時候透露,其 High-NA EUV 光刻機累計的訂單台數已達到兩位數。