造价超21亿元！阿斯麦向英特尔交付首台高NA EUV光刻系统

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快科技 12 月 22 日消息，据媒体报道，荷兰半导体设备制造巨头阿斯麦（ASML）确认，向英特尔交付首台高数值孔径（NA）的极紫外（EUV）光刻系统。

数值孔径是用来衡量光学系统能够收集的光的角度范围，通过增大数值孔径，可以实现更小的分辨率和更高的分辨能力，从而满足微细加工的要求。

据介绍，每台新机器的造价成本超过 3 亿美元（约合 21.4 亿元人民币），可以满足一线芯片制造商的需求，未来十年内能够制造更小、更好的芯片。 

阿斯麦发布了这台机器的一部分从荷兰维尔德霍芬总部出发的照片，照片中机器的一部分被装在一个保护盒里，周围还系着一条红丝带。

阿斯麦同时表示：" 我们很兴奋，也很自豪能将我们的第一个高数值孔径 EUV 系统交付给英特尔。"

这台机器组装后将比一辆卡车还大，将用 250 个单独的板条箱运送，其中包括 13 个大貨櫃，预计将从 2026 年或 2027 年开始用于商用芯片制造。

除了英特尔外，台积电、三星、SK 海力士和美光等也都订购了这款机器。