今天小編分享的科技經驗：ASML，今年賣了多少光刻機？，歡迎閱讀。
文 | 半導體產業縱橫，作者 | 九林
1984 年 4 月 1 日愚人節這一天，飛利浦和跟荷蘭的一家小公司合資，成了一家新公司。新公司的縮寫叫 ALS，跟漸凍症的縮寫是一樣的。一直到 1996 年，這家公司改名叫 ASML。
也就是現在，大名鼎鼎的 ASML。
今年，ASML 的 High NA EUV 光刻機成為設備新晉 " 頂流 "。其數值孔徑（NA）從之前标準 EUV 光刻機的 0.33 提升到了 0.55 ，鏡頭的分辨率從之前的 13 nm 提升到了 8 nm，能夠實現 2nm 以下先進制程大規模量產。英特爾、台積電、三星哪怕豪侈巨資也要拿下。
ASML 光刻巨頭的生意風生水起，今年 ASML 又賣了多少台光刻機？
01 ASML 有哪些光刻機？
想要知道 ASML 究竟賣了多少光刻機，首先要簡單了解一下這個光刻巨頭到底造了哪些類型的光刻設備。
ASML 的成長史，可以說是光刻機迭代史。
PAS 2000、PAS 2500 的起步階段
我們回到最初的 1984 年，新生的 ASML 呱呱墜地。當時 ASML 的產品只有 16 台飛利浦當作庫存的 PAS 2000。但這款光刻機采用油壓傳動台，有着巨大的缺陷，沒有客戶看得上。
在發現了 PAS 2000 問題後，ASML 決定開發新一代采用電動晶圓台的光刻機，型号 PAS 2500。1986 年推出非常棒的第二代產品 PAS 2500，并第一次賣給美國當時的創業公司賽普拉斯（Cypress）。
1988 年，飛利浦将 MEGA 生產線搬到了台積電，結果突發一場火災。于是台積電想 ASML 采購了 17 台 PAS 2500，成為了 ASML 的最大客戶。正是因為這些訂單，AMSL 終于開始盈利了。
PAS 5500，一戰成名
PAS 5500 是 ASML 的成名之戰，1991 年發布，能夠實現掃描式光刻。這時候 IBM 宣布将成為第一家在 8 英寸晶圓上制造芯片的公司。PAS 5500 通過了 IBM 的產業驗證，實現了小批量交付。
PAS 5500 按照模塊化設計，客戶可以根據不同工藝随意選配不同部件包，包括：55/100/200B/250C/300B/400D/700B/750E/850C 等等等，涵蓋了各種光源（i 線和 KrF），各種尺寸（4-12 英寸），各種鏡頭（i 線和 KrF 鏡頭），各種投影模式（stepper/scanner）。
這就使得一台設備能夠實現百花齊放。
PAS 5500 的戰績不止于 IBM，三星裝機第一台 PAS 5500 後生產出了 250nm 工藝的 16Mb 存儲器。SK 海力士在 1996 年裝機後，1998 年直接成為了 AMSL 的最大客戶。
TWINSCAN 和浸沒式技術
時間來到了 1990 年代末，光刻機的波長也從 248nm 進入到 193nm，這就是著名的 ArF 準分子激光器。
產業在 193nm 波長上卡了近 20 年。幹式 193nm 光刻機的極限工藝是 65nm，再往下就很難實現了。產業内提出了各種超越 193nm 的方案，相對而言 157nm 技術難度稍低。這時候，AMSL 收購了美國光刻機廠商 AVG，儲備了 157nm 和 EUV 光刻機。
直到 2002 年，在 157nm 技術研讨會上，台積電的林本堅提出了浸沒光刻技術，找到了 134nm 波長，一石激起千層浪。
雖然浸入式光刻機的構思非常巧妙，但從工程角度看，它并不難完成。ASML 很快就按照設計制造出了 134 納米波長光源的浸入式光刻機，TWINSCAN AT:1150i 。
2006 年 ASML 推出了第一台批量生產的浸入式機器 XT:1700i。2008 年又推出了 TWINSCAN NXT:1950i 可用于 32 納米芯片的量產，并迅速推動 ASML 開發出一系列用于亞 32 納米制程節點的光刻系統，包括 NXT:1960i、NXT:1965i、NXT:1970i 等。
改變時代的 EUV
為了鞏固地位，AMSL 在開發浸入式光刻機的同時，就已經向極紫外光源發起挑戰。它摸索出了一種新的 EUV 產生方法：用激光轟擊錫珠，讓其化為等離子态，從而產生 EUV。基于這個方法，ASML 于 2010 年推出了第一台 EUV 樣機。
不過，将樣機變為可以銷售的商品還需要很多投入，預期的投入可能達到每年 10 億歐元，以 ASML 的财力并沒有能力獨自完成這一切。為了解決這個問題，它邀請了英特爾、三星和台積電入股共同研發。終于，在 2013 年，量產的 EUV 光刻機 NEX:3300B 面世了——也就在這一年，溫寧克和範登布林克接過了公司的領導權。
之後，AMSL 于 2017 年推出了 TWINSCANNXE:3400B，将光刻機的制程（即最小的電路栅格間距離）從 7 納米推到了 5 納米。2020 年初，AMSL 發貨了第 100 台 EUV 光刻機。
再到 2023 年，再次推出了 High NA EUV 光刻機 TWINSCAN EXE:5000。從 AMSL 的路線圖來看，在 2025 年還要推出将新一代 High-NA EUV 系統 EXE:5200。
02 ASML 賣了多少光刻機？
筆者翻閱 ASML 财報，整理了其自 2012 年開始的出貨數據。ASML 出貨與其不斷成長的光刻歷程息息相關。
DUV 光刻機，出貨量的主力軍
ASML 2012-2023 光刻機出貨量（左右滑動查看全部列表）
如果按照光源類型劃分，不僅有 EUV 光刻機，還有 ArF 浸入式光刻機、ArF 幹式光刻機、KrF 光刻機、i-line 設備等。其中，ArF、ArF 和 KrF 都屬于深紫外線光刻機 ( DUV ) ，這也是當前半導體制造的主力。從 2012 年到 2023 年，ASML 出貨量 2235 台 DUV 光刻機。
從 2012 年的出貨量來看，ArFi 和 KrF 等深紫外線光刻機 ( DUV ) 出貨量遠超 EUV 光刻機。畢竟，如前文鎖述，能夠量產的 EUV 也是在 2013 年才正式亮相。從上圖來看，ArFi 出貨數量一直保持在 70-80 台左右，但 2023 年出現了暴漲，直接出貨 125 台。KrF 出貨量原先也一直維持在 70 左右，但從 2020 年開始每年增長近 30 台左右。
2020、2023 這兩個時間節點大家都不陌生。在 2023 年末，荷蘭和美國最新頒布的出口管制法規已經生效。當時阿斯麥首席财務官 Roger Dassen 表示："2024 年我們将不會獲得向中國發運 NXT:2000i 及以上浸潤式設備的出口許可證，此外，個别中國先進芯片制造晶圓廠将無法獲得發運 NXT:1970i 和 NXT:1980i 浸潤式設備的許可證。"
2023 年，ASML 賣了 449 台光刻機，其中有 53 台是 EUV 光刻機，396 台是 DUV 光刻機。2023 年 DUV 光刻機的出貨量，很大一部分來自于中國市場。
EUV 光刻機，轉捩點在 2022
ASML 2012-2023 光刻機淨銷售額（部門：億歐元）
從 2012 年 -2023 年，AMSL 一共出貨了 233 台 EUV 光刻機。百位數的 EUV 光刻機的出貨量對比千位數的 DUV 光刻機。可以說，出貨數量少的可憐，但架不住 EUV 高昂的價格。ASML 目前在售的雙工件台 EUV 光刻機單價約 1.2 億美元至 1.5 億美元左右。而其新一代高 NA EUV 光刻機造價更是高達 3 億至 3.5 億歐元（約合人民币 21.95 億至 25.61 億元）。
從上圖來看，自 2019 年開始，ASML 的 EUV 光刻機銷售額出現了較大的增長，而自 2020 年銷售額達到 44 億歐元後，直接超過了當年的 ArFi 光刻機的銷售額（40 億歐元）。從此之後，EUV 光刻機的銷售額就一騎絕塵。即使 2023 年，ArFi 光刻機出貨數量爆增到 125 台，賣出的價格也只有 86 億歐元。EUV 光刻機的總銷售額還超過其 5 個億歐元。
地區營收，誰購買了最多的光刻機？
ASML 地區出貨銷售額（部門：億歐元）（左右滑動查看全部列表）
2012 年開始，韓國、中國台灣地區、美國對于 ASML 光刻機的購買力是比較強的。當時中國大陸被列為亞洲其他地區，進而計算銷售額。自 2015 年後，由于中國大陸購買金額增長，被 ASML 财報再單拎出來，以上 2015 年後的亞洲其他地區數據實際為中國大陸的數據。
上圖中，中國台灣地區對于光刻機的購買需求始終旺盛，基本是占了大頭。但也不難理解，台積電作為全球第一的晶圓大廠，其資本支出一直是頂尖的。可以看到，從 2019 年到 2020 年，ASML 對中國台灣的銷售額有明顯上漲。對比當時的歷史來看，這個是節點台積電正開始量產 7nm+ 制程（也就是 EUV 版的 7nm），因此銷售金額增長不足為奇。
韓國的光刻機購買金額，從 2018 年到 2019 年有一個巨大的下滑，但需要注意的是，其 2017 年、2018 年的金額達到 30 億歐元，相較之前 15 億歐元翻了一倍。2019 年正是上一個
中國大陸地區對于光刻機的購買金額一直維持在 20 億歐元左右，但 2023 年暴漲了 61 億歐元，再次印證了前文所述，大陸只能在禁令下來前，現行購買部分光刻機。
03 2024 年，ASML 又賣了多少台光刻機？
看完了 ASML 前十二年的回顧，我們來仔細看看，在禁令實施的第一年，ASML 賣的如何吧。
從地區來看，日本第一季度沒有購買、歐洲第三季度也沒有購買。值得注意的是，韓國今年依舊花了近 30 億歐元購買光刻機，但原本一直占銷售大頭的中國台灣剛剛花了 16 億歐元。同時，大陸的購買力也非常強，相比去年全年的 61 億歐元，今年才三個季度，已經在 ASML 這裡購買了 70 億歐元的設備了。如果大陸 Q4 穩定按照 20 億歐元的購買力度，那今年中國大陸的銷售額會再創新高，甚至達到 90 億歐元。
在 ASML 公布 2023 年全年财報時，也對 2024 年的業績做出了預測。認為 2024 年的淨銷售額将與 2023 年基本持平，而 ASML 2023 全年淨銷售額是 276 億歐元。按照 276 億歐元計算，今年中國市場将占 ASML 業績的三分之一。
