消息稱三星 5000 億韓元引入其首台 ASML High NA EUV 光刻機

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IT 之家 3 月 12 日消息，韓媒 FNnews 昨日（3 月 11 日）發布博文，報道稱三星電子本月初在其華城園區引入了 ASML 生產的 High NA 極紫外光刻（EUV）設備，希望提升 2 納米及以下制程的競争力。

ASML 的 High NA EUV 設備 "EXE:5000" 是全球唯一能夠提供此類設備的供應商，單台價格高達 5000 億韓元（IT 之家備注：當前約 24.88 億元人民币）。該設備通過增大透鏡和反射鏡尺寸，将數值孔徑（NA）從 0.33 提升至 0.55，顯著提高了光刻精度，是 2 納米及以下制程的必備工具。

▲ ASML 首代 High NA EUV 光刻機 EXE:5000

與現有 EUV 設備相比，High NA EUV 能夠實現更窄的電路線寬，從而降低功耗并提升數據處理速度，三星自去年起已開始評估該設備的工藝應用，将其用于下一代半導體制造。

三星電子計劃在完成設備安裝後，全面構建 2 納米工藝生态系統。三星晶圓代工業務部負責人韓鎮萬強調，盡管公司在環繞栅極（GAA）工藝轉換上領先，但在商業化方面仍需加速，2 納米工藝的快速量產是其首要任務。

全球半導體巨頭紛紛加速引入 High-NA EUV 設備，英特爾（Intel）在 2023 年率先采購了 ASML 的首台 High-NA EUV 設備，并已籤訂合同購買總計 6 台。據路透 . 社報道，英特爾的前兩台 High-NA EUV 設備已投入生產，每季度可處理 3 萬片晶圓。

據 BITS&CHIPS 報道，英特爾預計将率先獲得 EXE:5200 設備用于其 14A 節點，而台積電則計劃在 2028 年啟動 High-NA 量產。

據 TrendForce 數據顯示，盡管三星在 2023 年第四季度全球晶圓代工市場排名第二，但其收入環比下降 1.4%，至 32.6 億美元，市場份額僅為 8.1%。相比之下，台積電（TSMC）以 67% 的市場份額保持領先地位。