今天小編分享的科技經驗:完全自主產權 中國第四代半導體新突破!6英寸氧化镓單晶實現產業化,歡迎閱讀。
快科技 3 月 21 日消息,近日,杭州镓仁半導體有限公司宣布,公司聯合浙江大學杭州國際科創中心先進半導體研究院、矽及先進半導體材料全國重點實驗室。
采用自主開創的鑄造法,成功制備了高質量 6 英寸非故意摻雜及導電型氧化镓單晶,并加工獲得了 6 英寸氧化镓襯底片。
6 英寸導電型氧化镓襯底
杭州镓仁半導體,也成為國内首個掌握 6 英寸氧化镓單晶襯底制備技術的產業化公司。
據介紹,氧化镓因其優異的性能和低成本的制造,成為目前最受關注的超寬禁帶半導體材料之一,被稱為第四代半導體材料。
該材料主要用于制備功率器件、射頻器件及探測器件,在軌道交通、智能電網、新能源汽車、光伏發電、5G 移動通信、國防軍工等領網域,均具有廣闊應用前景。
6 英寸非故意摻雜(上)與導電型(下)氧化镓單晶
該公司表示,此次制備 6 英寸氧化镓襯底采用的鑄造法,具有以下顯著優勢:
第一,鑄造法成本低,由于貴金屬 Ir 的用量及損耗相比其他方法大幅減少,成本顯著降低;
第二,鑄造法簡單可控,其工藝流程短、效率高、尺寸易放大;
第三,鑄造法擁有完全自主知識產權,中國和美國專利已授權,為突破國外技術壟斷,實現國產化替代奠定堅實基礎。
目前而言,日本的 NCT 在氧化镓襯底方面,仍占據着領先地位,但國内也總體呈現追趕态勢。